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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
, E# l' t/ e8 s' i7 z 应用背景 . G5 E- G6 V/ [: q: p* Z( r$ E
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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_' g3 @" m7 }6 j% v+ y 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
# ?4 y' D5 _5 J% t 应用测量原理介绍
6 `7 f( ~- n1 b! W) g ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
/ R1 m: {* z0 _ u" Y0 ^# L 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 9 } \9 T$ C u1 s% q7 m' S
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 % a( \+ R5 h% a8 f3 K3 r
微型光纤光谱仪优势
: q8 u2 a4 q+ n, s. |3 U 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
6 ?+ W' o: t4 c" b9 U5 G' o 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段 . i& Q9 D; Q& e0 j6 a+ Z4 t
近红外波段
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# |& N8 w, s3 ?- \2 j$ J USB系列, HR系列, QE65000 ! h+ h" `! B8 E4 {8 W- B( y( R
NIRQUEST
. H% c8 e6 _1 w% Q6 F 软件
z5 ^% M; B+ U3 ]! m$ Q& J Oceanview 1.6.3
" w. j) Q! g9 f+ N8 ]* y 光源
- z: F# x6 M, u1 d5 H DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
: w$ V6 J) q9 `2 b 光纤
1 d3 w/ T7 }/ o5 t UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
- _0 L9 z' a5 |8 t! J" E: e: Z VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
* O- w" v" g( ^5 _5 t V 附件 ( P, B4 u$ M$ U" T* b* c
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T 2 q$ V+ Y5 o" F$ s5 n* C
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 # V3 U' [; u1 K! ]4 n
2. ITO薄膜膜厚检测
# l! ~( i! K" l1 B 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
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4 l d4 C$ F$ X0 @. {( p 图4. 薄膜厚度测量系统配置
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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