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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 " | T3 V9 E- f' D, W9 {
应用背景 & m4 A5 w: `. W1 m; X6 w( m5 G- Z: ]) Y7 T
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 * I2 p+ y9 e W" c: }0 @2 F6 P
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
- Z$ t; A( Y& q6 H5 c+ a 应用测量原理介绍 8 Y- S" L% @' G& y8 ]4 i# b
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
O9 I% C3 x; D' Z0 P$ O( E 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 9 g& ] K, p8 o3 K
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 - E5 D' g k5 S2 U7 Q
微型光纤光谱仪优势
7 R7 W* W* S$ g b* x% _ S9 { 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 ! A! p( P, s3 _& x5 }$ Y Q: @) o5 F
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： $ U$ K6 C! G4 C. F) N) @0 y
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9 C& ^! ]; y5 F7 ^' K 紫外/可见光波段
) v$ F' O( ~, h3 o6 m" l 近红外波段
1 M0 }2 } e6 j' s: Z/ W' m 光谱仪
) f& V- x: f4 Q3 u |, ` USB系列, HR系列, QE65000
, u1 h+ w* O3 R2 x( `( V; [& {: J NIRQUEST
0 y; y, c# G1 W( }8 ^0 a 软件 4 O4 _8 u1 i- m& S& k
Oceanview 1.6.3 , [- ~! v1 D& v& f
光源 6 e! y3 n# A# N& T% S6 P) E
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS - L8 P% j& H( N. m& _7 P
光纤 1 K3 E; U8 I: E0 d: i$ g
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
0 s6 P2 @9 O* w7 \! a8 G VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 ! j) V8 [) ~1 ~; K& u! M i
附件
8 p9 p8 o& @" G% y7 q1 H+ N 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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/ y2 d l. @% \; @' z, A4 G" W$ L 图2. 薄膜透过率测量系统配置
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
0 ]# r) P' n2 a7 r! P 2. ITO薄膜膜厚检测
2 ~0 |% S8 X" n6 u1 ^ 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： 8 E7 H- X* ]$ \7 h
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图4. 薄膜厚度测量系统配置
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- H( f# e1 `$ C+ X# { 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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+ ~1 H0 ?; G1 T/ y8 Z: R 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 8 U) \% j" ~, N2 v
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